Общие сведения - Лаборатория сверхпроводниковых устройств для приема и обработки информации

Перейти к контенту

Главное меню:

УНУ
Уникальная научная установка – особый тип научной инфраструктуры, функционирующий как единое цело, созданный в единичном варианте с техническими характеристиками, не имеющими аналогов в Российской Федерации, и позволяющий получать значимые научные результаты мирового уровня, которые невозможно достичь на серийно выпускаемых научных приборах и оборудовании.

 УНУ «Криоинтеграл» - технологический и измерительный комплекс для создания сверхпроводниковых наносистем на основе новых материалов - создана и успешно функционирует на базе лаборатории сверхпроводниковых устройств для приема и обработки информации и лаборатории тонкоплёночной оксидной электроники Института радиотехники и электроники им. В.А.Котельникова Российской академии наук. В состав  УНУ «Криоинтеграл» входит полный комплекс оборудования для изготовления и исследования высококачественных сверхпроводниковых структур на основе туннельных переходов с высокой плотностью тока и интегральных схем средней степени интеграции. Технологический комплекс по изготовлению интегральных сверхпроводниковых структур включает в себя две чистые комнаты класса 1000 общей площадью более 120 м2 с рабочими зонами класса 100. Помещения оборудованы системами вентиляции, очистки и кондиционирования воздуха, системой вытяжной вентиляции и системами деионизации воды.

 Руководитель    комплекса:    д.ф.-м.н., проф. Кошелец В.П. (ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН)
Оборудование УНУ "Криоинтеграл"Модель, производитель
1
Прецизионный синтезированный генератор сигналов
Agilent E8257D, Keysight Technologies
2
Установка вакуумного магнетронного напыления
Custom system KJLC CMS In-Line sputter deposition system, Kurt J. Lesker Company Ltd
3
Электронный микроскоп с системой электронной литографии
e_LiNE, Raith GmbH
4
Прецизионный кондиционер с водоохлаждаемым конденсатором
TecnairLB 51-H/R407, Tecnair LV S.p.A.
5
Микроскоп оптический
ERGOLUX, Ernst Leitz Wetzlar GmbH
6
Высоковакуумная установка катодного распыления
Z-400, Leybold AG
7
Аналоговый генератор сигналов
Agilent N5181А-503, Keysight Technologies
8
Цифровой металлографический микроскоп
МЕТ-5 ДИК, Альтами
 
ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Назад к содержимому | Назад к главному меню